北方华创“升降针装置、半导体工艺设备及压力控制方法”专利公布

北京北方华创微电子装备有限公司近日公布一项专利——“升降针装置、半导体工艺设备及压力控制方法”（申请公布号：CN119230470A，申请公布日：2024年12月31日）。该专利属于半导体领域，旨在解...